Teknologi.Bagian dari ensiklopedia.onlineCari/
BerandaMaterial rekayasaECLIPSE: Ultrathin and Reliable Copper Diffusion Barriers for Advanced Copper Interconnects
Proyek riset & pengembangan

ECLIPSE: Ultrathin and Reliable Copper Diffusion Barriers for Advanced Copper Interconnects

Ringkasan tujuan riset

Film karbon amorf dan karbon amorf berdopan nitrogen dibuat melalui PECVD sebagai penghalang difusi tembaga ultratipis bagi interkoneksi chip yang menyusut.

Material rekayasa1 rujukanProfil diperbarui
Lihat rujukanBandingkan proyek
Linimasa NSF 2336192Periode tercatat 2025-01-01 sampai 2027-12-31.NSF 2336192MulaiAkhir tercatat202520282025-01-012027-12-31
Linimasa dan catatan proyek

Tanggal dan TRL menurut catatan penerbit. Akhir periode dan target bukan bukti hasil riset.

Teknologi · CC BY 4.0 · Sumber data

Apa tujuan dan pendekatan risetnya?

Profil ini merangkum ruang lingkup proyek yang dipublikasikan National Science Foundation (NSF). Sumber diakses . Uraian pendekatan dan manfaat menyatakan tujuan pengembangan, kecuali sumber secara khusus melaporkan hasil.

Penghalang Ta/TaN memiliki batas butir yang dapat menjadi jalur difusi ketika interkoneksi diperkecil. Penelitian menghubungkan mekanisme pertumbuhan film karbon dengan mikrostruktur, ikatan kimia, serta sifat optik dan mekanis. Laju gas, tekanan, suhu, dan daya plasma dioptimalkan untuk permukaan halus serta struktur stabil. Pelapis dinilai melalui adhesi pada tembaga maupun dielektrik, kelarutan, konduktivitas, keseragaman, dan ketebalan sebelum kelayakan penghalang ditetapkan.

Baca uraian penerbit

Konteks pengembangan

Institusi penerima pada catatan
University of Louisiana at Lafayette
Program
AM-Advanced Manufacturing
Periode pendanaan tercatat
2025-01-01 → 2027-12-31

Proyek kolaboratif beberapa institusi diwakili oleh satu catatan penghargaan. Institusi di atas adalah penerima pada catatan tersebut.

Klasifikasi NSF

  • Directorate for Engineering
  • Civil, Mechanical, & Manufacturing Innovation

Label penerbit dipertahankan sebagai konteks. Bidang katalog merupakan pengelompokan editorial.

Apa yang diketahui tentang statusnya?

Status pendanaan menurut NSFAktif (catatan pendanaan NSF)

Catatan NSF tidak melaporkan tingkat kesiapan teknologi (TRL). Status pendanaan aktif atau berakhir bukan bukti keberhasilan riset.

Batas informasi

Profil merangkum tujuan dan pendekatan dalam abstrak pendanaan NSF. Status pendanaan tidak membuktikan keberhasilan riset, kesiapan teknologi, atau ketersediaan produk. Hasil dan performa belum diverifikasi secara independen; tinjauan ahli belum dilakukan.

Dasar profil

Metodologi dan batas pemeriksaan. Ringkasan berbahasa Indonesia disusun sebagai parafrasa editorial dengan pemeriksaan sumber primer oleh agen AI. Identitas, periode, serta status berasal dari catatan penerbit. Tinjauan ahli dan pengujian kinerja independen belum dilakukan; rujukan tidak menyiratkan dukungan atau sertifikasi NSF.